Ny Tetikasa 909 Very Large Scale Integrated Circuit Factory dia tetik'asa fananganana lehibe amin'ny indostrian'ny elektrônika ao amin'ny fireneko mandritra ny drafitra dimy taona fahasivy hamokatra chips misy sakan'ny tsipika 0.18 microns ary savaivony 200 mm.
Ny teknôlôjian'ny famokarana faritra midadasika midadasika dia tsy vitan'ny hoe misy teknolojia avo lenta toy ny micro-machining, fa mametraka fepetra ambony amin'ny fahadiovan'ny entona.
Ny famatsiana entona betsaka ho an'ny Tetikasa 909 dia omen'ny fiaraha-miasa eo amin'ny Praxair Utility Gas Co., Ltd. any Etazonia sy ireo antoko mifandraika amin'izany ao Shanghai mba hiara-hiorina orinasa mpamokatra entona. trano, mirefy 15.000 metatra toradroa. Ny fahadiovana sy ny vokatra takiana amin'ny gazy isan-karazany
Ny azota madio (PN2), ny nitrogen (N2), ary ny oksizenina madio (PO2) dia novokarin'ny fisarahan'ny rivotra. Ny hydrogène madio madio (PH2) dia novokarin'ny electrolysis. Argon (Ar) sy helium (He) dia novidina avy any ivelany. Ny quasi-gaz dia diovina sy voasivana mba hampiasaina ao amin'ny Tetikasa 909. Ny entona manokana dia omena amin'ny tavoahangy, ary ny kabinetran'ny tavoahangy entona dia hita ao amin'ny atrikasa mpanampy ao amin'ny orinasa famokarana circuit integrated.
Ny gazy hafa koa dia misy rafitra CDA rivotra maina maina madio, miaraka amin'ny habetsaky ny fampiasana 4185m3 / h, ny haavon'ny ando fanerena -70 ° C, ary ny haben'ny ampahany tsy mihoatra ny 0.01um amin'ny entona amin'ny toerana ampiasaina. Ny rafitry ny rivotra mifoka rivotra (BA), ny fampiasana boky 90m3 / h, ny ando tsindry 2 ℃, ny haben'ny entona amin'ny toerana ampiasaina dia tsy mihoatra ny 0.3um, ny rafitra vacuum (PV), ny habetsaky ny fampiasana 582m3 / h, Ny mari-pahaizana vacuum amin'ny fotoana fampiasana -79993Pa. Fanadiovana ny banga (HV) rafitra, ny fampiasana boky 1440m3 / h, banga ambaratonga amin'ny fampiasana -59995 Pa. Ny rivotra compressor efitra sy ny banga paompy efitrano dia samy hita ao amin'ny 909 tetikasa orinasa faritra.
Fifantenana fitaovana sy kojakoja sodina
Ny entona ampiasaina amin'ny famokarana VLSI dia manana fepetra momba ny fahadiovana avo dia avo.Fantsona entona madio tsaramatetika ampiasaina amin'ny tontolo famokarana madio, ary ny fanaraha-maso ny fahadiovan'izy ireo dia tokony hifanaraka na ambony noho ny haavon'ny fahadiovan'ny toerana ampiasaina! Ankoatra izany, ny fantsona entona madio dia matetika ampiasaina amin'ny tontolo famokarana madio. Ny hidrôzenina madio (PH2), ny oksizenina madio indrindra (PO2) ary ny entona manokana sasany dia gazy mora mirehitra, mipoaka, mirehitra na misy poizina. Raha toa ka tsy araka ny tokony ho izy ny famolavolana ny rafitry ny fantsona entona na ny fitaovana tsy voafantina, dia tsy ny fahadiovan'ny entona ampiasaina amin'ny teboka entona ihany no hihena, fa hahomby ihany koa. Mahafeno ny fepetra takiana amin'ny dingana izany, saingy tsy azo antoka ny fampiasana ary hiteraka fandotoana ny orinasa madio, izay misy fiantraikany amin'ny fiarovana sy ny fahadiovan'ny orinasa madio.
Ny fiantohana ny kalitaon'ny entona madio indrindra amin'ny fotoana fampiasana dia tsy miankina amin'ny fahamarinan'ny famokarana entona, ny fitaovana fanadiovana ary ny sivana, fa misy fiantraikany amin'ny lafiny maro amin'ny rafitra fantsona. Raha miantehitra amin'ny fitaovana famokarana entona isika, fitaovana fanadiovana ary sivana Tsy mety fotsiny ny mametraka fepetra avo lenta avo lenta kokoa hanonerana ny famolavolana rafitra fantsona fantsona entona na fifantenana fitaovana.
Nandritra ny dingan'ny famolavolana ny tetikasa 909, dia nanaraka ny "Code for Design of Clean Plants" GBJ73-84 (ny fenitra ankehitriny dia (GB50073-2001)), "Code for Design of Compressed Air Stations" GBJ29-90, "Code for Design of Oxygen Stations" GB50030-91 , "Code for Design of Hydrogen and Oxygen Stations" GB50177-93, ary ny fepetra ara-teknika mifandraika amin'ny fifantenana ny fitaovana sy ny kojakoja fantsona. Ny "Code for Design of Clean Plants" dia mamaritra ny fifantenana ny fitaovana sy ny valves toy izao manaraka izao:
(1) Raha ny entona fahadiovana dia lehibe noho na mitovy amin'ny 99,999% ary ny ando teboka dia ambany noho -76 ° C, 00Cr17Ni12Mo2Ti ambany karbaona Stainless vy sodina (316L) amin'ny electropolish rindrina anatiny na OCr18Ni9 Stainless vy sodina (304) amin'ny electropolish rindrina anatiny dia tokony ho ampiasaina. Ny valva dia tokony ho valva diaphragm na valifaty.
(2) Raha ny entona fahadiovana dia lehibe kokoa na mitovy amin'ny 99,99% ary ny ando teboka dia ambany noho -60 ° C, OCr18Ni9 Stainless vy Tube (304) amin'ny electropolished rindrina anatiny dia tokony ho ampiasaina. Afa-tsy ny valva tavoara izay tokony hampiasaina amin'ny fantsona entona mirehitra, ny valva baolina dia tokony hampiasaina amin'ny fantsona entona hafa.
(3) Raha ambany noho ny -70 ° C ny haavon'ny ando amin'ny rivotra voaporitra maina, dia tokony hampiasaina OCr18Ni9 stainless vy sodina (304) misy rindrina anatiny voapoizina. Raha ambany noho ny -40 ℃ ny ando, dia tokony hampiasaina ny sodina vy tsy misy vy OCr18Ni9 (304) na sodina vy tsy misy seamless. Ny valva dia tokony ho valva tavoara na valva baolina.
(4) Ny fitaovana valva dia tokony hifanaraka amin'ny fitaovana fampifandraisana.
Araka ny fepetra takian'ny fepetra ara-teknika sy ny fepetra ara-teknika mifandraika amin'izany, dia mandinika ireto lafiny manaraka ireto isika rehefa mifidy fitaovana fantsona:
(1) Ny rivotra permeability ny fitaovana sodina dia tokony ho kely. Ny fantsona amin'ny fitaovana samihafa dia samy manana ny fahafahan'ny rivotra. Raha ny fantsona manana fifindran'ny rivotra lehibe kokoa no voafantina dia tsy azo esorina ny loto. Ny fantsona vy tsy misy vy sy ny fantsona varahina dia tsara kokoa amin'ny fisorohana ny fidiran'ny oksizenina sy ny harafesina amin'ny rivotra. Na izany aza, satria ny fantsona vy tsy misy pentina dia tsy dia mavitrika noho ny fantsona varahina, ny fantsona varahina dia mavitrika kokoa amin'ny famelana ny hamandoana ao amin'ny atmosfera hiditra ao anaty anatiny. Noho izany, rehefa mifidy fantsona ho an'ny fantsona entona madio indrindra, ny fantsona vy tsy misy dikany dia tokony ho safidy voalohany.
(2) Ny atiny anatiny amin'ny fitaovana sodina dia adsorbed ary misy fiantraikany kely amin'ny famakafakana ny entona. Aorian'ny fikarakarana ny fantsona vy tsy misy pentina, dia misy entona be dia be hotazonina ao amin'ny makarakara metaly. Rehefa mandalo ny entona madio tsara dia hiditra amin'ny fikorianan'ny rivotra io ampahany amin'ny entona io ary hiteraka loto. Mandritra izany fotoana izany, noho ny adsorption sy ny famakafakana, ny metaly eo amin'ny faritra anatiny amin'ny sodina dia hamokatra vovobony sasany, ka miteraka fandotoana ny entona madio indrindra. Ho an'ny rafitra fantsona misy fahadiovana mihoatra ny 99.999% na haavon'ny ppb dia tokony hampiasaina ny sodina vy tsy misy karbaona ambany 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L).
(3) Ny fanoherana ny sodina stainless vy dia tsara kokoa noho ny an'ny fantsona varahina, ary ny vovoka metaly vokatry ny fikorianan'ny rivotra dia kely kokoa. Ny atrikasa famokarana miaraka amin'ny fepetra ambony kokoa amin'ny fahadiovana dia afaka mampiasa 00Cr17Ni12Mo2Ti ambany karbaona Stainless vy fantsona (316L) na OCr18Ni9 Stainless vy fantsona (304), varahina fantsona dia tsy azo ampiasaina.
(4) Ho an'ny rafitra fantsona misy entona madio mihoatra ny 99.999% na ppb na ppt, na ao amin'ny efitrano madio misy haavon'ny fahadiovan'ny rivotra amin'ny N1-N6 voafaritra ao amin'ny "Code de Design Factory Clean", fantsona faran'izay madio naEP fantsona madio indrindratokony ampiasaina. Diovy ny "fantsona madio miaraka amin'ny faritra anatiny tena malama".
(5) Ny sasany amin'ireo rafitra fantsona entona manokana ampiasaina amin'ny fizotran'ny famokarana dia entona manimba be. Ny fantsona ao amin'ireo rafitra fantsona ireo dia tsy maintsy mampiasa fantsona vy tsy misy harafesina mahazaka harafesina ho fantsona. Raha tsy izany dia ho simba ny fantsona noho ny harafesina. Raha misy tasy misy harafesina eo amin'ny tany, dia tsy azo ampiasaina ny fantsona vy tsy misy tariby na fantsona vy vita amin'ny galvanized.
(6) Amin'ny ankapobeny, ny fifandraisan'ny fantsona entona rehetra dia tokony ho welded. Koa satria ny welding ny galvanized sodina vy dia handrava ny galvanized sosona, galvanized vy fantsona dia tsy ampiasaina ho an'ny fantsona ao amin'ny efitra madio.
Raha raisina ireo lafin-javatra voalaza etsy ambony ireo, dia toy izao manaraka izao ny fantsona fantsona entona sy valva voafantina ao amin'ny tetikasa &7&:
Ny fantsona rafitra azota (PN2) madio indrindra dia vita amin'ny fantsona 00Cr17Ni12Mo2Ti ambany karbônina Stainless vy (316L) miaraka amin'ny rindrina anatiny electropolish, ary ny valves dia vita amin'ny valva vy vita amin'ny vy mitovy.
Ny azota (N2) rafitra fantsona dia vita amin'ny 00Cr17Ni12Mo2Ti ambany karbaona Stainless vy fantsona (316L) amin'ny electropolish rindrina anatiny, ary ny valves dia vita amin'ny Stainless vy bellows valves ny fitaovana mitovy.
Ny fantsona rafitra hydrogène (PH2) madio indrindra dia vita amin'ny 00Cr17Ni12Mo2Ti ambany karbônina Stainless vy fantsona (316L) miaraka amin'ny rindrina anatiny electropolish, ary ny valves dia vita amin'ny valva vy tsy misy vy amin'ny fitaovana mitovy.
Ny fantsona rafitra oksizenina (PO2) madio indrindra dia vita amin'ny 00Cr17Ni12Mo2Ti ambany karbônina Stainless vy fantsona (316L) miaraka amin'ny rindrina anatiny electro-pofona, ary ny valves dia vita amin'ny valva vy tsy misy vy amin'ny fitaovana mitovy.
Argon (Ar) rafitra fantsona dia vita amin'ny 00Cr17Ni12Mo2Ti ambany-carbon Stainless vy fantsona (316L) amin'ny electropolish rindrina anatiny, ary Stainless vy tavoara valves ny fitaovana mitovy no ampiasaina.
Ny helium (He) rafitra fantsona dia vita amin'ny 00Cr17Ni12Mo2Ti ambany-carbon Stainless vy fantsona (316L) amin'ny electropolish rindrina anatiny, ary ny valves dia vita amin'ny Stainless vy bellows valves ny fitaovana mitovy.
Ny fantsona rafitra rivotra maina maina (CDA) dia vita amin'ny fantsona vy tsy misy vy OCr18Ni9 (304) miaraka amin'ny rindrina anatiny voapoizina, ary ny valva dia vita amin'ny valva vy vita amin'ny vy mitovy.
Ny fantsona rafitra rivotra mifoka rivotra (BA) dia vita amin'ny fantsona vy tsy misy vy OCr18Ni9 (304) miaraka amin'ny rindrina anatiny voapoizina, ary ny valva dia vita amin'ny valva baolina vy vita amin'ny fitaovana mitovy.
Ny fantsona rafitra vacuum (PV) dia vita amin'ny fantsona UPVC, ary ny valva dia vita amin'ny valva lolo vacuum vita amin'ny fitaovana mitovy.
Ny fantsona rafitra fanadiovana banga (HV) dia vita amin'ny fantsona UPVC, ary ny valva dia vita amin'ny valva lolo vacuum vita amin'ny fitaovana mitovy.
Ny fantsona ny rafitra entona manokana dia vita amin'ny 00Cr17Ni12Mo2Ti ambany karbaona Stainless vy fantsona (316L) amin'ny electropolish rindrina anatiny, ary ny valves dia vita amin'ny Stainless vy bellows valves ny fitaovana mitovy.
3 Fanamboarana sy fametrahana fantsona
3.1 Fizarana 8.3 amin'ny “Fehezan-dalàna momba ny famolavolan'ny tranobe madio” dia mamaritra ireto fepetra manaraka ireto ho an'ny fampifandraisana fantsona:
(1) Ny fifandraisana amin'ny fantsona dia tokony ho welded, fa ny fantsona vy vita amin'ny galvanized mafana dia tokony ho kofehy.
(2) Stainless vy sodina dia tokony ho mifandray amin'ny argon arc welding sy ny vodiny welding na socket welding, fa avo-fidio tsara fantsona tokony ho mifandray amin'ny vodiny welding tsy misy marika eo amin'ny rindrina anatiny.
(3) Ny fifandraisana eo amin'ny fantsona sy ny fitaovana dia tokony hifanaraka amin'ny fepetra takiana amin'ny fitaovana.
(4) Ny fifandraisana eo amin'ny fantsona sy ny valva dia tokony hanaraka ireto fitsipika manaraka ireto
① Ny fitaovana famehezana mampifandray ny fantsona entona madio sy ny valves dia tokony hampiasa gaskets metaly na ferrules roa sosona araka ny fepetra takian'ny fizotran'ny famokarana sy ny toetran'ny entona.
②Ny fitaovana famehezana amin'ny fifandraisana misy kofehy na flange dia tokony ho polytetrafluoroethylene.
3.2 Araka ny fepetra takian'ny fepetra sy fepetra ara-teknika mifandraika amin'izany, ny fampifandraisana ireo fantsona entona madio indrindra dia tokony ho welded araka izay azo atao. Tokony hohalavirina mandritra ny fanaovana lasantsy ny lasantsy mivantana. Tokony hampiasaina ny sodina sodina na tonon-taolana vita. Ny sakan'ny sodina dia tokony ho vita amin'ny fitaovana mitovy sy ny hamandoana amin'ny atiny amin'ny fantsona. ambaratonga, mandritra ny welding, mba hisorohana ny oxidation ny welding ampahany, madio entona fiarovana dia tokony hampidirina ao amin'ny welding sodina. Ho an'ny fantsona vy tsy misy pentina, tokony hampiasaina ny lasantsy argon arc, ary tokony hampidirina ao anaty sodina ny gazy argon manana fahadiovana mitovy. Ny fifandraisana misy kofehy na fifandraisana misy kofehy dia tsy maintsy ampiasaina. Rehefa mampifandray flanges, ferrules tokony ampiasaina ho threaded fifandraisana. Afa-tsy ny oksizenina fantsona sy ny hidrôzenina fantsona, izay tokony hampiasa vy gaskets, fantsona hafa dia tokony hampiasa polytetrafluoroethylene gaskets. Hahomby ihany koa ny fametrahana fingotra silicone kely amin'ny gaskets. Manatsara ny vokatry ny famehezana. Ny fepetra mitovy amin'izany dia tokony horaisina rehefa misy fampifandraisana flange.
Alohan'ny hanombohan'ny asa fametrahana dia asio maso amin'ny antsipiriany ny fantsona,fitaovana, valves, sns dia tsy maintsy atao. Ny rindrina anatiny amin'ny fantsona vy tsy misy vy mahazatra dia tokony hosotroina alohan'ny fametrahana azy. Ny fantsona, ny fitaovana, ny valves, sns. amin'ny fantsona oksizenina dia tokony ho voarara tanteraka amin'ny solika, ary tokony hosorana tanteraka araka ny fepetra ilaina alohan'ny hametrahana azy.
Alohan'ny hametrahana sy hampiasaina ny rafitra dia tokony hodiovina tanteraka amin'ny entona madio tsara ny rafitra fantsona fandefasana sy fizarana. Izany dia tsy vitan'ny hoe mitsoka ny vovoka poti izay tsy nahy nianjera tao amin'ny rafitra nandritra ny dingana fametrahana, fa koa mitana anjara toerana fanamainana ao amin'ny rafitra pipeline, manala ny ampahany amin'ny hamandoana-misy entona raiki-tampisaka amin'ny rindrin'ny fantsona ary na dia ny sodina fitaovana.
4. Fitsapana fanerena pipeline sy fanekena
(1) Aorian'ny fametrahana ny rafitra dia tokony hatao ny fanaraha-maso radiografika 100% amin'ny fantsona mitondra ranon-javatra misy poizina amin'ny fantsona entona manokana, ary ny kalitaony dia tsy tokony ho ambany noho ny Level II. Ny fantsona hafa dia iharan'ny fitsirihana radiographie santionany, ary ny tahan'ny fisafoana santionany dia tsy tokony ho latsaky ny 5%, ny kalitao dia tsy tokony ho ambany noho ny kilasy III.
(2) Rehefa avy nandalo ny fisafoana tsy manimba dia tokony hatao ny fitsapana tsindry. Mba hiantohana ny fahamainana sy ny fahadiovan'ny rafitra fantsona dia tsy tokony hatao ny fitsapana tsindry hydraulika, fa ny fitsapana tsindry pneumatic dia tokony hampiasaina. Ny fitsirihana ny tsindrin-drivotra dia tokony hatao amin'ny fampiasana rivotra azota na voaporitra mifanaraka amin'ny haavon'ny fahadiovan'ny efitrano madio. Ny fanerena fitsapana amin'ny fantsona dia tokony ho 1.15 heny amin'ny fanerena famolavolana, ary ny fanerena fitsapana ny fantsona vacuum dia tokony ho 0.2MPa. Mandritra ny fitsapana dia tokony hampitombo tsikelikely sy hampitombo tsikelikely ny tsindry. Rehefa miakatra hatramin'ny 50% amin'ny tsindrim-panadinana ny fanerena, raha tsy hita ny tsy fahatomombanana na ny fivoahana, dia tohizo ny fampitomboana tsikelikely ny tsindry amin'ny 10% amin'ny fanerena fitsapana, ary ampio ny tsindry mandritra ny 3 minitra isaky ny ambaratonga mandra-pahatongan'ny fanerena fitsapana. . Atsaharo ny fanerena mandritra ny 10 minitra, ary ahena ny fanerena amin'ny fanerena famolavolana. Ny fotoana fijanonan'ny fanerena dia tokony hofaritana araka ny filan'ny fitiliana leak. Mahafeno fepetra ny agent foaming raha tsy misy leakage.
(3) Aorian'ny fandalovan'ny rafitra banga ny fitsapana fanerena, dia tokony hanao fitsapana 24 ora ihany koa izy araka ny antontan-taratasy famolavolana, ary ny tahan'ny fanerena dia tsy tokony hihoatra ny 5%.
(4) Fitsapana leakage. Ho an'ny rafitra pipeline ppb sy ppt, araka ny fepetra mifandraika amin'izany, dia tsy tokony hoheverina ho mahafeno fepetra ny leakage, fa ny fitsapana ny habetsaky ny leakage dia ampiasaina mandritra ny famolavolana, izany hoe, ny fitsapana ny habetsaky ny leakage dia atao aorian'ny fitsapana henjana. Ny tsindry dia ny tsindry miasa, ary mijanona mandritra ny 24 ora ny tsindry. Ny salan'isa isan'ora dia latsaky ny 50ppm na mitovy amin'ny maha-mety azy. Ny kajy ny leakage dia toy izao manaraka izao:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Ao amin'ny formula:
Fitetezana adiny iray (%)
P1-Fanerena tanteraka amin'ny fiandohan'ny fitsapana (Pa)
P2-Fanerena tanteraka amin'ny faran'ny fitsapana (Pa)
T1 - maripana tanteraka amin'ny fiandohan'ny fitsapana (K)
T2 - maripana tanteraka amin'ny faran'ny fitsapana (K)
Fotoana fandefasana: Dec-12-2023